產(chǎn)品名稱:二手SEM掃描電子顯微鏡
產(chǎn)品型號:
更新時(shí)間:2024-06-28
產(chǎn)品特點(diǎn):二手SEM掃描電子顯微鏡SU3500所具備的新型的模擬圖像和改進(jìn)后的電子光學(xué)系統(tǒng)以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時(shí),SE圖像可達(dá)7nm,5KV電壓時(shí),BSE圖像可達(dá)10nm。最新開發(fā)的自動(dòng)多級電子槍偏壓機(jī)構(gòu)能夠在不降低電子束大小的情況下,在一定范圍內(nèi)的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。因此,此款產(chǎn)品與S-3400N相比,噪音得以大幅減少,成像更加清晰。
產(chǎn)品詳細(xì)資料:
全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比,自動(dòng)功能縮短。
具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)
具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能
(*1):自選
(*2):和日立SEM S-3400N相比
(*3):根據(jù)觀察條件的不同,時(shí)間會有變動(dòng)
(*4):自選
二手SEM掃描電子顯微鏡規(guī)格
項(xiàng)目 | 描述 | |
二次電子分辨率 | 3.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm高真空模式) | |
7.0nm(加速電壓=3kV,WD=5mm高真空模式) | ||
背散射電子分辨率 | 4.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm低真空模式) | |
10.0nm(加速電壓=5kV,WD=5mm高真空模式) | ||
放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率*5) | |
7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率*6) | ||
加速電壓 | 0.3 - 30kV | |
可變壓力范圍 | 6 - 650Pa | |
最大樣品尺寸 | 直徑 200mm | |
樣品臺 | X | 0 - 100mm |
Y | 0 - 50mm | |
Z | 5 - 65mm | |
R | 360° | |
T | -20° - 90° | |
可觀察區(qū)域 | 直徑 130mm (旋轉(zhuǎn)并用) | |
最大樣品高度 | 80mm(WD=10mm) | |
馬達(dá)臺 | 5軸標(biāo)配 | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對中的鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可動(dòng)光闌 | |
探檢測器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 | |
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 | ||
EDX分析 WD | 10mm(取出角35°) | |
圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows® 7*7(如有更改,恕不另行通知) |
圖像顯示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) | |
小屏模式(800 × 600 像素) | ||
雙圖像顯示(800 × 600 像素) | ||
四屏幕顯示(640 × 480像素) | ||
信號混合模式 | ||
排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動(dòng)排氣 |
渦輪分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
機(jī)械泵 | 135L/min(162L/min,60Hz)× 1 |
1.成像功能
SU3500日立掃描電子顯微鏡所具備的新型的模擬圖像和改進(jìn)后的電子光學(xué)系統(tǒng)以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時(shí),SE圖像可達(dá)7nm,5KV電壓時(shí),BSE圖像可達(dá)10nm。開發(fā)的自動(dòng)多級電子槍偏壓機(jī)構(gòu)能夠在不降低電子束大小的情況下,在一定范圍內(nèi)的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。因此,此款產(chǎn)品與S-3400N相比,噪音得以大幅減少,成像更加清晰。
通過SU3500的開發(fā)并優(yōu)化過的圖像處理方法,現(xiàn)在可以很容易地在快速掃描模式下觀察到低噪聲的圖像。高速自動(dòng)聚焦控制(AFC)和自動(dòng)亮度及對比度控制(ABCC)的增強(qiáng),使您可以縮短*2SEM(掃描電子顯微鏡)的觀察循環(huán)時(shí)間(TAT)
2.低真空功能操作的優(yōu)異性
新設(shè)計(jì)的真空程序使真空范圍可以達(dá)到6-650Pa,實(shí)時(shí)真空反饋允許在用戶特定的壓力設(shè)定下保持樣品室的快速的真空穩(wěn)定性。在低真空模式下直接觀察更清晰。
SU3500日立掃描電子顯微鏡具有一個(gè)可變壓力模式,允許對處于自然狀態(tài)下的潮濕,油膩和非導(dǎo)電樣品進(jìn)行觀察。由于正電離子是電子束撞擊殘余氣體分子的結(jié)果,所以不需要進(jìn)行傳統(tǒng)的樣品前處理,比如干燥和金屬鍍層。
新開發(fā)的超高靈敏度可變壓力探測器得以進(jìn)一步優(yōu)化,特別是在可變壓力模式下觀察超薄表面的微觀結(jié)構(gòu)方面。通過同時(shí)觀察從標(biāo)準(zhǔn)BSE探測器得到的組成圖像,使得在多種應(yīng)用下進(jìn)行的各種各樣的分析都成為可能。振木以銅礦物、樹脂填料、水虱等圖像為例真實(shí)的再現(xiàn)了SU3500的這項(xiàng)功能。
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