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產(chǎn)品名稱:二手蔡司場發(fā)射電鏡,蔡司SUPRA 40VP

產(chǎn)品型號:

更新時間:2024-10-30

產(chǎn)品特點:二手蔡司場發(fā)射電鏡,蔡司SUPRA 40VP場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)是電子顯微鏡的一種。該儀器具有超高分辨率,能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像、反射電子象觀察及圖像處理。該儀器利用二次電子成像原理,在鍍膜或不鍍膜的基礎(chǔ)上,低電壓下通過在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細(xì)胞、微生物以及生物大分子等,獲得忠實原貌的立體感樣品表面超微形貌結(jié)構(gòu)信息

產(chǎn)品詳細(xì)資料:

二手蔡司場發(fā)射電鏡,蔡司SUPRA 40VP原理介紹

        掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、無機非金屬材料及器件等的檢測。隨著我國經(jīng)濟的迅速發(fā)展,高校、科研單位、企業(yè)等大量引進了場發(fā)射掃描電子顯微鏡。但是在掃描電子顯微鏡的使用過程中,特別是在安裝初期,使用者通常由于對電鏡的運行狀態(tài)缺乏系統(tǒng)認(rèn)識,經(jīng)常會遇到軟件死機、樣品臺被卡、真空問題等多種故障。解決方式一般為請維修工程師上門維修,除花費時間和費用外,也造成了對電鏡操作者的心里束縛。筆者以德國蔡司ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡為例,從環(huán)境條件、光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及附件設(shè)施4個方面總結(jié)了熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡運行狀態(tài)的幾種檢查方法和維護保養(yǎng)經(jīng)驗,并結(jié)合故障實例進行了分析

    

查看環(huán)境條件

       掃描電子顯微鏡的使用環(huán)境條件主要涉及溫度、濕度、震動、磁場強度、接地等幾個因素。一般情況下,環(huán)境溫度需控制在22~25℃,相對濕度以小于70%為宜,保證實驗室清潔整齊,避免大聲喧嘩及震動、磁場的干擾。溫濕度控制需配備空調(diào)和除濕機,特別是在南方地區(qū)一定要保證對濕度的控制,避免溫濕度對電鏡電子部件的影響。由于場發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率較高,對震動和磁場強度的要求也較高,所以需盡量避免震動和雜散磁場的干擾。一般在安裝時,建議將電鏡放置在樓體一層,遠(yuǎn)離輸電線路、大功率設(shè)備等,并做防震地基和獨立地線設(shè)置。電鏡地線要求必須是獨立地線,即接地體到接線端子均獨立,避免地線連接到公共接地體。在使用過程中,若周圍有雜散磁場,在大倍數(shù)觀察時圖像會出現(xiàn)縱或橫條紋干擾。總之,日常使用過程中要嚴(yán)格控制電鏡的環(huán)境條件。以ULTRAPLUS掃描電子顯微鏡為例,環(huán)境條件要求如下:溫度保持在21~25℃,相對濕度小于65%,磁場強度小于3×10-7T,噪聲強度小于65dB,獨立地線的接地電阻小于0.1Ω。

二手蔡司場發(fā)射電鏡,蔡司SUPRA 40VP

檢查光學(xué)系統(tǒng)

       電子光學(xué)系統(tǒng)是由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈組成的,也是掃描電子顯微鏡的核心部分。為保證電子束沿這些部件的軸線穿行,必須調(diào)節(jié)這些部件合軸,即光闌對中。而電鏡初學(xué)者往往一味地進行調(diào)焦、變倍操作,可是得到的圖像仍不清楚,于是懷疑電鏡出現(xiàn)故障。下面將就從光闌對中、物鏡消像散、查看電子束束流和燈絲壽命情況這幾個方面進行闡述,以便進一步了解電鏡的性能,做好電鏡的日常維護保養(yǎng)工作。
(1)檢查光闌對中。在更換試樣、調(diào)整加速電壓和探測器類型時需檢查光闌是否對中。具體操作方法是打開調(diào)焦搖擺功能,查看高倍數(shù)下電子圖像是否上下左右擺動,若擺動則調(diào)節(jié)光闌對中按鈕,直至圖像僅出現(xiàn)上下擺動。

(2)檢查像散情況。像散是電子光學(xué)系統(tǒng)中所形成的磁場或靜電場不能滿足軸對稱要求時產(chǎn)生的。圖像聚焦和消像散是圖片質(zhì)量的重要保證。若反復(fù)聚焦后圖像仍不清晰,在欠焦和過焦時垂直方向上出現(xiàn)模糊并拉長的現(xiàn)象,則說明有像散存在,需要調(diào)節(jié)像散。正常情況下也會出現(xiàn)像散,可通過觀察狀態(tài)欄中的像散值查看是否處于正常狀態(tài)。若X或Y 軸的像散值小于30%,則說明像散處于正常狀態(tài);若像散值大于30%,則說明像散處于非正常狀態(tài)。產(chǎn)生像散的原因是多方面的,如透鏡材料不均勻、極靴孔之間對中不好以及加工精度影響等,而電鏡在使用過程中電子通道周圍部分被污染而帶電是產(chǎn)生像散的主要原因。以ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡為例,其電子通道的污染會形成一個局部的靜電場,干擾電子束的正常聚焦。雖然電鏡中設(shè)置八極電磁式消像散器,可產(chǎn)生一個弱的校正磁場,但其作用是有限的。若電子通道污染,則需清洗光闌和其他電子束通道部位來消除像散。

二手蔡司場發(fā)射電鏡,蔡司SUPRA 40VP

檢查真空系統(tǒng)

      電鏡中的真空系統(tǒng)一般由真空泵、管道、和真空測量裝置組成。高真空度可減少電子與氣體分子的碰撞,增加燈絲壽命,所以必須高度關(guān)注真空系統(tǒng),定期記錄系統(tǒng)真空和槍真空數(shù)值,或是打開真空監(jiān)控器(Gun Monitor)實時監(jiān)控真空值。對于ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡,需保證系統(tǒng)真空值不小于5.0×10-4Pa,槍真空不低于1.0×10-7Pa。若真空值低于正常狀態(tài)需進行必要的檢查和維護保養(yǎng),如檢查各真空系統(tǒng)部件或進行烘烤操作,具體方法如下:
(1)觀察真空裝置的啟動順序及啟動時間。ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡真空的啟動順序為機械泵潘寧規(guī)、離子泵。一般換試樣抽真空時間為3min。如時間過長,需檢查真空裝置是否為異常啟動情況。
(2)判斷分子泵前級泵的工作狀態(tài)。定期查看分子泵的功率狀態(tài),操作方法為:打開分子泵控制器,查看分子泵功率,若小于10W,則分子泵前級泵(機械干泵)無過多附加阻力,為正常狀態(tài);否則,說明前級泵存在過多負(fù)載。
(3)機械干泵的維護。機械干泵中密封圈為易耗品,隨著機械摩擦?xí)r間的增加,密封圈變小,給分子泵帶來過多負(fù)載,抽真空時間變長。一般情況下,機械干泵的維護需在1~2a(年)內(nèi)進行,即更換密封圈。

二手蔡司場發(fā)射電鏡,蔡司SUPRA 40VP應(yīng)用范圍

      場發(fā)射掃描電子顯微鏡,廣泛用于生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質(zhì)礦物、商品檢驗、產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析??梢杂^察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米、納米級樣品的表面特征。該儀器的最大特點是具備超高分辨掃描圖像觀察能力,尤其是采用新數(shù)字化圖像處理技術(shù),提供高倍數(shù)、高分辨掃描圖像,并能即時打印或存盤輸出,是納米材料粒徑測試和形貌觀察儀器。也是研究材料結(jié)構(gòu)與性能關(guān)系所重要工具。

二手蔡司場發(fā)射電鏡,蔡司SUPRA 40VP


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